第83章 现在就拆给你看！（2/5）

在传统的硅片抛光打磨中，通常会先用机械抛光机，对硅片进行初步打磨，再清洗，最后进行化学机械抛光，也称为精磨。

精磨是一种利用抛光液的化学腐蚀功能，配合机械转盘的机械打磨，两者互相配合来达到硅片的工艺标准。

实验的结果是 RMS，比他们能做的极限还差不少。

康驰沉思了片刻，然后说道：“换成30wt%Al2O3基液，加65wt%高锰酸钾作为化学抛光液，用5wt%HNO3调成的PH值再试一遍。”

严辉点了点头，带着研究员们调配好抛光液，然后重新进行了一次实验。

“平整度 RMS。”

看到这个结果，原本还有点小期待的严辉，不由露出一抹失望的神色。

但康驰却依然不为所动，又报出了一组抛光液配比，让他们重新进行第三次实验。

“平整度 RMS。”

？

还是？！

是巧合吗？

虽然显然是远远不达标的，但严辉却似乎意识到了什么，有些惊讶地转头看向康驰。

“你……计算好的？”

“算是吧。”

康驰点了点头。