第146章 秦光一号（3/4）

而董建元和陈云明之所以能猜到，主要也是因为康驰找他们造了一套cmos的掩膜板，同时还借了一套超高精度的CUP掩膜板，用来测试光刻机的最小制程。

但在真相没有揭晓的那刻，他们也只是猜测而已。

他们的目光都紧紧地看着康驰，等待着他的进一步解释。

康驰等现场稍微安静了点之后，才拿起一块cmos感光芯片，继续向介绍道：

“我手中的这块芯片，就是武安相机上的cmos感光元件，制造它的硅片来自大汉硅业，蚀刻机来自中微，而光刻机……用的则是我身后的这台秦光一号EUV光刻机！”

“秦光一号是由大秦光学完成设计和组装的，国内首台EUV光刻机，它的EUV光源系统来自常春光所，可实现500W-EUV光源的稳定输出，而光学系统，则是由大秦光学负责制造，大家请看大屏幕。”

随着康驰的话音刚落，在内舞台的背景屏幕上，便放出了几名大秦光学的工程师，在无尘车间里一起举着光刻机镜片的照片。

“这就是光刻机的镜片，它的直径高达125mm，镜面粗糙度25pm，面精度仅为！”

“最后是光刻机的双件工作台，它是由大唐重工负责研发制造，位移误差是200pm，理论上可以满足2nm芯片制造的要求。”

“同时得益于500W功率的EUV光源，这台光刻机的工作效率，达到了每小时180片晶圆的制造速度！”

“经过初期测试，我们目前能做到的最小制程是7nm，不过光刻机其实只是个生产工具，后续随着堆叠工艺的提升，进一步缩小制程也是完全没有问题的。”

听到这里，无论是申城硅产业，还是中芯、立昂微的高层，都忍不住激动地互相对视了一眼，然后各怀心事地继续看着康驰。

康驰刚刚的那番参数介绍，其实就是对他们说的，普通观众估计也听不懂。

到了光刻机的环节，普通观众其实都只是看热闹的了，

不过在看热闹的同时，也能增强一下大家的民族自信心，顺便还能给大秦光学的相机和镜头，打一波价值连城的广告。

至于光刻机真正的目标用户，其实就是坐在第二排的半导体大佬们。